中微公司前三季度设备收入大幅增长，科创半导体ETF（588170）规模实现显著提高

截至10:01，上证科创板半导体材料设备主题指数上涨0.38%，成分股中船特气上涨6.99%，中微公司上涨3.14%，盛美上海上涨2.43%，拓荆科技上涨2.37%，神工股份上涨1.78%。科创半导体ETF（588170）上涨0.20%，最新价报1.5元。

流动性方面，科创半导体ETF（588170）盘中换手3.61%，成交1.43亿元。拉长时间看，截至10月29日，科创半导体ETF近1月日均成交6.68亿元，领先同类。

规模方面，科创半导体ETF近1周规模增长8362.27万元，实现显著增长。

消息面上，中微公司于10月29日发布2025年第三季度报。公告显示，中微公司2025年前三季度营业收入为80.63亿元，同比增长约46.40%；归母净利润为12.11亿元，同比增长32.66%。收入按产品来看，前三季度刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长约38.26%；LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元，同比增长约1332.69%。

民生证券指出，AI拉动先进逻辑及存储需求，直接带动了半导体设备及材料的需求。在逻辑芯片向更先进制程演进的过程中，以及HBM（高带宽内存）的兴起，对相关制造材料提出了更高要求。

相关ETF：公开信息显示， 科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中 半导体设备（61%）和半导体材料（23%）细分领域的硬科技公司。 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求，扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体材料ETF（562590）及其联接基金（A类：020356、C类：020357），指数中半导体设备（61%）、半导体材料（21%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。

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